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商品NO 1854 商品名 簡易型オスミウムコーター(ワイド型) メーカー (株)真空デバイス 管理 (株)真空デバイス
型式 HPC-1SW 価格 商品問合せ
特徴 この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。プラズマ放電はホローカソード内で行われ、円筒内はプラズマエネルギーで分離した金属Os粒子で満たされます。円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。 カタログ
仕様 電源: AC100V(単相100V15A) 1口
装置サイズ: 幅200mmx奥行き350mmx高さ375mm
装置重量: 15.5Kg
ポンプサイズ: 排気速度50ℓ/min(G-50DA特型) 幅156mmx奥行き341mmx高さ200mm
ポンプ重量: 12Kg
試料室サイズ: 内径120mmx高さ90mm(硬質ガラス)
カソードサイズ: 内径105mmx深さ37mm(ホローカソード方式)
試料ステージサイズ: 直径50mm(フローティング方式)
備考 管理NO